GSL-1800X-III是一款1800℃三溫區管式爐,采用進口 Kathal Super-1900C 硅鉬棒作為加熱元件,以氧化鋁纖維板作為爐膛材料,并且內部嵌有氧化鋯纖維。儀器配有60*1200mm的剛玉管和一套不銹鋼法蘭,法蘭上開有dia30mm的石英窗口,以供客戶使用。
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統為3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。 GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區管式爐
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區帶有升降雙通道進料系統的共蒸發多層沉積管式爐,通過升降雙通道進料系統可裝載4個不同材料的蒸發坩堝舟,并且可一次同時送入兩個蒸發坩堝源進入管式爐中進行共蒸發或反應蒸發。雙溫區管式爐可以實現快速加熱,并且通過對各個溫區設置不同的加熱溫度可以創建不同的溫度梯度從而實現蒸發沉積。 OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩堝同時移動型管式爐